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更新日期：2024-03-22
簡(jiǎn)要描述：
日本nanophoton帶晶圓載物臺(tái)的拉曼顯微鏡 RAMANdriveRAMANdrive 是一款專(zhuān)用于半導(dǎo)體分析的拉曼顯微鏡，配備 300 毫米晶圓載物臺(tái)。載物臺(tái)可以準(zhǔn)確平穩(wěn)地移動(dòng)到晶圓上所需的位置，實(shí)現(xiàn)高性能拉曼光譜成像分析。
| 類(lèi)型 | 其他 | 測(cè)量范圍 | 1 |
|---|
日本nanophoton帶晶圓載物臺(tái)的拉曼顯微鏡 RAMANdrive
RAMANdrive 是一款專(zhuān)用于半導(dǎo)體分析的拉曼顯微鏡，配備 300 毫米晶圓載物臺(tái)。
載物臺(tái)可以準(zhǔn)確平穩(wěn)地移動(dòng)到晶圓上所需的位置，實(shí)現(xiàn)高性能拉曼光譜成像分析。
配備專(zhuān)用載物臺(tái)，最大可放置300mm的大直徑晶圓。真空吸附機(jī)構(gòu)使晶圓保持水平并將其牢固地固定在平臺(tái)上。由于載物臺(tái)具有較寬的可移動(dòng)范圍，因此可以在視野中心從晶圓邊緣到邊緣的任何位置進(jìn)行捕捉和測(cè)量。晶圓以外的高樣品可以放置在平臺(tái)中央的凹槽中。
高性能拉曼光譜成像
為了顯著提高拉曼圖像的采集速度，我們開(kāi)發(fā)了一種的線照明技術(shù)，將激光束拉伸成一條線并照射到樣品上。從樣品上的線形照明區(qū)域同時(shí)檢測(cè)到 400 個(gè)拉曼光譜。此外，通過(guò)安裝高精度掃描鏡，實(shí)現(xiàn)了激光束掃描成像。規(guī)定分析區(qū)域后，無(wú)需移動(dòng)載物臺(tái)，只需幾分鐘即可獲得超過(guò) 100,000 像素的高清拉曼圖像。
RAMANdrive 配備高質(zhì)量的共焦光學(xué)器件，在所有 XYZ 方向上擁有最高的空間分辨率。這種高分辨率還有助于顯著提高 100 nm 或更小的微粒的檢測(cè)靈敏度。出色的光譜分辨率和峰值定位精度能夠?qū)?yīng)力和多型進(jìn)行高度準(zhǔn)確的分析。
空間分辨率顯著提高了對(duì)小于光斑尺寸的顆粒的檢測(cè)靈敏度。選配的高品質(zhì)暗場(chǎng)觀察功能可清晰確認(rèn)100nm以下微小異物的位置，高精度激光束掃描將激光束準(zhǔn)確照射到異物中心。可以獲得具有高信噪比的拉曼光譜，從而可以高精度地識(shí)別污染物。
RAMANdrive 配備高性能共焦光學(xué)器件，可對(duì) SiC、GaN 和金剛石等透明樣品進(jìn)行深度成像。通過(guò)斷層拉曼成像獲得的 SiC 晶片中應(yīng)力分布的數(shù)據(jù)表明，研磨劃痕引起的應(yīng)力通過(guò)拋光得到了降低。
日本nanophoton帶晶圓載物臺(tái)的拉曼顯微鏡 RAMANdrive
| 空間分辨率（X/Y/Z） | 350nm/500nm/1000nm (@532nm, 100x 0.90NA) |
|---|---|
| 光譜測(cè)量范圍 | 100 cm -1 ~ (選項(xiàng)：50 cm -1 ~) |
| 光譜分辨率 (FWHM) | 1.2cm -1 (@785nm, 1200g/mm) |
| 光譜像素分辨率 | 0.4cm -1 /pixel (@785nm, 1200 g/mm) |
| 峰值定位精度 | 0.1cm -1 (@532nm, 2400g/mm) |
| 激光波長(zhǎng) | 325nm、355nm、488nm、532nm、671nm、785nm等 |
|---|---|
| 激光照射方式 | 點(diǎn)光源/線光源 |
| 光譜儀焦距 | 550mm |
| 光柵 | 內(nèi)置 3 張 150、300、600、1200、1800、2400 g/mm |
| 探測(cè)器 | 熱電冷卻 CCD 1340 × 400 像素 |
| 尺寸（寬x高x深） | 1276×1350×1320mm（含防震臺(tái)） |
|---|---|
| 重量 | 390kg（含防震臺(tái)） |
